多晶矽生產中含氟廢酸液處理工藝
來源：本站日期：2023-01-09 03:05:38 瀏覽：1968
在多晶矽生產（chǎn）過（guò）程中會排放少量的含氟廢酸液，對此類含氟廢酸液該（gāi）如何處理呢？小蝌蚪影院小編今天給（gěi）大家介紹一下多晶矽生產中含氟廢酸液處理工藝。
一、多晶矽（guī）含氟廢酸液來源
在多晶矽生產的矽料清洗工序，先用堿液除去（qù）矽料表（biǎo）麵的石英、金（jīn）屬（shǔ）離子等，再使用39%氫氟酸和68%硝酸的混合液進（jìn）行（háng）酸洗，後用去離子水衝洗浸泡至中性。酸洗（xǐ）階（jiē）段（duàn）產生少量（liàng）廢酸液，使用完的廢酸，濃度（dù）的降低基本（běn）可以忽略不計，氟離子含量約5%。
二、多晶矽含氟廢水常規（guī）預處理工藝
由於多晶矽含（hán）氟廢水處理該廢液酸性（xìng）很（hěn）強，為避免對後端處（chù）理設備（bèi）造（zào）成腐蝕，一般會調解PH值，然後向廢水中投加石灰乳或（huò）者電石渣，對廢水進行中和，同時鈣離子與氟離子生成難溶物（wù）氟化鈣沉澱。
三、多晶矽含氟廢水零（líng）排放處理工藝
預處理出水的主要鹽組分為硝酸鈣，硝酸鈣質（zhì）量濃度10%以上，氟離子含量約10mg/L，pH高於7。將預處理後的廢水蒸發濃縮至質（zhì）量濃度70%左右，再冷卻至40℃以下，結晶生成四水硝酸鈣。
四水物加熱（rè）到151℃完全脫水，加熱到495~500℃時，硝酸鈣分解放出氧並生成亞硝酸鈣，繼續加熱（rè）則分解成氧化鈣及氧化氮氣體（tǐ）。
硝酸鈣為（wéi）強氧化（huà）劑，屬於危險化（huà）學品。因此該工（gōng）藝產出的四水硝酸鈣應避免受熱，並嚴禁（jìn）與有機物、還原劑、磷和硫磺等接觸。
硝酸鈣水溶液在不同（tóng）壓力（lì）下（xià）的沸點不同，70%硝酸鈣溶液在常壓下的（de）沸（fèi）點為133℃，而在絕壓40kPa和25kPa下，其沸（fèi）點分別下降（jiàng）到（dào）105℃和93℃。
硝酸（suān）鈣溶液的蒸發器宜選用強製（zhì）循環蒸發器，因（yīn）為強製循環（huán）蒸發（fā）器（qì）對高黏度、易生泡沫、易結垢（gòu）、甚至有結晶（jīng）析出的溶液均適用，且完成液的組成較容易恒定。蒸發器內恒（héng）定的完成液組成對後續冷卻結晶係統（tǒng）的正常穩定運（yùn）行起到至關重要的作用（yòng）。
根據硝酸鈣的水鹽體係，硝酸鈣溶液可以選擇采用冷卻結晶係統，冷（lěng）卻（què）結晶產出的硝酸鈣產品（pǐn）可以作為肥料利用。
四（sì）、多晶矽廢水處理尾氣處理工藝
對廢酸液處（chù）理過程中產生的廢氣處置工藝及設備選型，酸性廢氣可用堿性溶液進行吸收處理，常（cháng）用的吸收液。
經堿液（yè）吸收後的（de）尾（wěi）氣通（tōng）過排氣筒高空排放，尾氣中氮氧化物（wù）和氟化物排放濃度及排放（fàng）速率（lǜ）滿足排放標（biāo）準。室外高空排放時應設避雷（léi）設施，采用金屬排放裝置還應有（yǒu）可靠的接地措（cuò）施。
根據含氟廢酸（suān）液（yè）中和後的溶液組成及性質（zhì），選取合適的蒸發結晶工藝和操作條件，以實現廢液的零排放。
